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文檔簡介
1、在汽車電子和消費類電子產(chǎn)品中，三軸加速度傳感器有著巨大的市場份額，如游戲和娛樂系列消費類電子產(chǎn)品中都應用了加速度傳感器作為動作操控和接收裝置。三軸加速度傳感器也應用于汽車安全和導航系統(tǒng)中，對GPS衛(wèi)星信號實現(xiàn)定位，配合陀螺儀或電子羅盤等元件一起可創(chuàng)建方位推算系統(tǒng)，與GPS系統(tǒng)實現(xiàn)互補性應用。此外，三軸加速度傳感器還廣泛應用于微型衛(wèi)星、工業(yè)自動控制、機器人系統(tǒng)、軍工產(chǎn)品等諸多領(lǐng)域。
本文以應力彎曲懸臂梁式單片集成的三軸熱對流加速
2、度傳感器為研究對象，側(cè)重研究多層復合薄膜懸臂梁多物理場（溫度場和應力場）作用下的形變機制，包括:密閉空腔內(nèi)多物理場（溫度場和應力場）作用下的半導體薄膜懸臂梁形變機制;微機械結(jié)構(gòu)應力與溫度及微機械結(jié)構(gòu)釋放的相互作用內(nèi)在關(guān)系，建立相關(guān)力學模型。通過有限元仿真軟件對多層復合半導體薄膜多物理場（溫度場和應力場）作用下形變規(guī)律進行了模擬計算，總結(jié)出復合薄膜的懸臂梁在多物理場下的撓度形變規(guī)律，從根本上揭示了器件設(shè)計提供依據(jù)，從而為三維微機械結(jié)構(gòu)和功
3、能器件的設(shè)計提供了嶄新的思路。
通過復合彎曲薄膜懸臂梁在溫度場、加速度以及二者耦合作用下仿真研究，獲得了在不同物理場下，彎曲懸臂梁的撓度變化規(guī)律。加速度對彎曲懸臂梁的撓度有顯著的影響，當沿Z軸負方向的加速度線性增大時，懸臂梁的撓度也會隨著線性遞增;當沿Z軸正方向的加速度增大時，懸臂梁的撓度會隨著線性遞減。設(shè)定密閉腔的溫度不變，彎曲懸臂梁的撓度也在一個特定的值，與加速度影響下懸臂梁的撓度相比較，溫度對半導體硅基復合薄膜彎曲懸臂梁
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