非晶態(tài)TiN-Ag-Cr-TiO2薄膜的制備與光催化性能研究.pdf

1、近年來，二氧化鈦光催化劑被廣泛應用于環(huán)境治理，特別是在水體污染物處理方面得到了進一步的發(fā)展。高效、節(jié)能、清潔、無毒、穩(wěn)定是二氧化鈦光催化降解污染物的突出優(yōu)點。然而，一方面二氧化鈦的吸收邊位于紫外光區(qū)，使得其在可見光區(qū)不能發(fā)生光催化反應，這大大限制了其對太陽光的利用率；另一方面，通常制備的粉體二氧化鈦在光催化降解污染物中難以分離和回收，從而導致水體處理成本升高。這些問題是目前二氧化鈦光催化劑實際應用的障礙，也是其在環(huán)境治理方面的研究重點。

2、
　　本文通過對國內外研究現(xiàn)狀的論述分析，首先介紹了二氧化鈦的基本性質，總結并論述了二氧化鈦的光催化反應過程以及其在環(huán)境治理方面的應用，歸納闡述了二氧化鈦光催化劑的改性方法以及二氧化鈦薄膜的制備方法。
　　本文利用反應磁控濺射法在顯微玻璃和單晶硅表面制備了非晶態(tài) TiN/Ag/Cr-TiO2多層薄膜，研究了制備工藝參數(shù)對其光催化性能的影響；以亞甲基藍的光催化降解效率來研究分析所制備薄膜的光催化降解性能；考察了Ag層厚度和Cr

3、摻雜量對薄膜基本性質和光催化降解效率的影響，通過優(yōu)化工藝參數(shù)制備出本實驗條件下最高降解效率的 TiN/Ag/Cr-TiO2多層薄膜，并對其基本性質和光催化機理進行分析。
　　本文利用 X射線衍射技術（XRD）、掃描電子顯微技術（SEM）、能譜技術（EDS）、紫外-可見光分光光度計、X射線光電子能譜技術（XPS）、表面輪廓儀等，討論分析了所制備薄膜的物相、表面形貌和厚度、成分、禁帶寬度、紫外-可見光吸收等基本性質。XRD、EDS、X