基于模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的晶圓清洗機(jī)過濾器建模.pdf

1、晶圓的清洗是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的重要工藝環(huán)節(jié)，晶圓對(duì)微污染物的存在非常敏感，晶圓的清洗質(zhì)量直接關(guān)系到芯片的成品率，是關(guān)乎生產(chǎn)成本的關(guān)鍵因素之一。目前濕法清洗是被廣泛采用的清洗技術(shù)，濕法清洗技術(shù)關(guān)鍵是對(duì)過濾器更換的控制，而控制的重要依據(jù)是清洗機(jī)內(nèi)化學(xué)品的流量和濃度。論文研究了晶圓清洗機(jī)液態(tài)化學(xué)品過濾器的流量預(yù)測(cè)模型，并基于該流量預(yù)測(cè)模型對(duì)過濾器及生產(chǎn)線的更換進(jìn)行優(yōu)化，解決過早更換過濾器造成的過濾器未物盡其用的浪費(fèi)和延遲更換過濾器導(dǎo)致流量EP(

2、ExcursionPrevention)報(bào)警造成的晶圓廢品，有效的降低了生產(chǎn)成本。論文的主要研究工作如下:
　　(1)對(duì)晶圓清洗機(jī)過濾器流量預(yù)測(cè)進(jìn)行了研究。通過現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際采樣，選取構(gòu)建模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的訓(xùn)練樣本集和檢測(cè)樣本集數(shù)據(jù);對(duì)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化去除噪聲處理。
　　(2)進(jìn)行模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建模和學(xué)習(xí)算法的研究。建立模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型，并進(jìn)行了實(shí)例驗(yàn)證;研究該模型的預(yù)測(cè)精度及誤差原因，并提出改進(jìn)措施。
　　(3)對(duì)模糊神經(jīng)網(wǎng)

3、絡(luò)模型的算法進(jìn)行改進(jìn)研究。提出了基于新目標(biāo)函數(shù)的模糊聚類算法。該算法將輸入量的變化引入到模型的輸入空間，改善模型的結(jié)構(gòu)。通過改進(jìn)的聚類算法確定模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的結(jié)構(gòu)和網(wǎng)絡(luò)參數(shù)、權(quán)值，確定模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)神經(jīng)元個(gè)數(shù)和規(guī)則數(shù)，利用改進(jìn)型模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對(duì)晶圓清洗機(jī)過濾器流量進(jìn)行預(yù)測(cè)研究。
　　(4)搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，進(jìn)行實(shí)踐平臺(tái)的實(shí)際測(cè)試，包括模型結(jié)構(gòu)的確定，參數(shù)的估計(jì)及實(shí)踐平臺(tái)的應(yīng)用流程。
　　在研究中，通過理論分析和實(shí)踐驗(yàn)證，本文提出的基于