多層嵌套X射線掠入射光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計.pdf

1、X射線掠入射光學(xué)系統(tǒng)在天文觀測、空間氣候檢測、空間定位與導(dǎo)航、顯微成像、投影光刻、成像與診斷等技術(shù)方向具有獨(dú)特優(yōu)勢，發(fā)揮著不可替代的作用。多層嵌套掠入射X射線光學(xué)系統(tǒng)可以提供更大的集光面積、更高的角分辨率以及更輕的系統(tǒng)重量。隨著光學(xué)檢測和加工技術(shù)的日益成熟，使得研制出更高精度的X射線掠入射光學(xué)系統(tǒng)成為可能。
　　本文主要研究了X射線掠入射光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計，并且給出了提高有效集光面積的設(shè)計方法。文章首先對X射線掠入射光學(xué)系統(tǒng)的研究進(jìn)展

2、做了詳細(xì)論述，分析了X射線成像光學(xué)系統(tǒng)的類型。然后對掠入射光學(xué)系統(tǒng)的工作原理、結(jié)構(gòu)形式、光學(xué)特性等方面進(jìn)行了深入研究，最終選擇兩種結(jié)構(gòu)類型的掠入射形式。針對集能型的不需清晰成像的X射線光學(xué)系統(tǒng)，則采取一次拋物面鏡反射方式。針對對成像質(zhì)量有比較高要求的X射線光學(xué)系統(tǒng)，則采取二次反射的WolterⅠ型形式，并且分析了這兩種掠入射形式的優(yōu)缺點(diǎn)。為了增大X射線光學(xué)系統(tǒng)的有效集光面積，采用了多層嵌套的設(shè)計方案，即將許多不同口徑的反射鏡面制作成套筒