平面微型超級(jí)電容器的石墨烯電極材料制備.pdf

1、平面微型超級(jí)電容器是一種具有體積小、儲(chǔ)能密度高、充放電速度快、循環(huán)壽命長(zhǎng)、使用安全等特點(diǎn)的新型儲(chǔ)能器件，通常被用于微型電子器件的能源提供。平面微型超級(jí)電容器的性能主要取決于電極材料的性能。石墨烯作為一種新型的納米材料，由于其具備獨(dú)特的物理性能和化學(xué)性能，使其成為最重要的超級(jí)電容器電極材料。
　　通過(guò)分析平面微型超級(jí)電容器離子傳輸機(jī)制，設(shè)計(jì)了小尺寸指寬和空隙的平面微型超級(jí)電容器構(gòu)型，并以此為單體設(shè)計(jì)了串并聯(lián)復(fù)合構(gòu)型的平面微型超級(jí)電容

2、器掩膜版。將制備好的石墨烯電極經(jīng)過(guò)光刻、磁控濺射、超聲波清洗剝離及等離子體刻蝕一系列工藝流程處理后，在其表面滴涂凝膠，完成了平面微型超級(jí)電容器的制備。
　　為了探究銅箔預(yù)處理對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)的影響，我們對(duì)銅箔預(yù)處理前后的光學(xué)照片進(jìn)行了分析。然后，通過(guò)拉曼光譜及原子力顯微鏡等表征結(jié)果分析得出了低壓條件下，石墨烯在不同生長(zhǎng)時(shí)間和甲烷濃度條件下的生長(zhǎng)規(guī)律。結(jié)果發(fā)現(xiàn):當(dāng)生長(zhǎng)時(shí)間為30min時(shí)，甲烷濃度為35sccm時(shí)，石墨烯電極是單層石墨烯