大型藍寶石晶體生長設備熱場的設計及其研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、藍寶石是一種簡單的氧化物晶體,具備優(yōu)良的熱學、機械和光學性能,適合在高溫條件下工作。它作為一種重要的技術晶體,已被廣泛地應用于科學技術、國防和民用工業(yè)、電子技術等諸多領域。近年來,隨著科學技術的快速發(fā)展,對藍寶石晶體材料的尺寸、質(zhì)量提出了更高的要求,所以研究低成本、高品質(zhì)的大型藍寶石晶體生長設備已成為當前面臨的重要任務。
  本文在30kg、60kg泡生法藍寶石晶體生長設備的基礎上,結合國內(nèi)外大型藍寶石晶體生長設備的設計經(jīng)驗,從熱

2、場設計中應注意的問題和容易造成晶體缺陷的原因入手,最終完成了90kg泡生法大型藍寶石晶體生長設備熱場和爐體部分的設計,并進行三維實體建模。根據(jù)晶體生長學原理和傳熱學的基礎理論,建立晶體生長的物理、數(shù)學理論模型和熱邊界條件;并對晶體生長過程中晶體缺陷的引入原因和形成機理進行研究分析,并提出有效的控制改進措施。
  根據(jù)熱場模擬分析的一般步驟和實際情況,對實體模型和模擬分析參數(shù),進行合理的簡化;基于ANSYS Workbench對簡化

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