飛秒激光誘導(dǎo)材料微結(jié)構(gòu)的研究.pdf

1、飛秒激光具有極短的脈沖寬度，這使它擁有極高的峰值功率，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)任何材料的非熱熔性加工。通過控制激光脈沖聚焦點(diǎn)在材料上的移動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)材料的高精度三維微加工。目前利用飛秒激光直寫技術(shù)在金屬薄膜材料表面制備周期性微結(jié)構(gòu)，已成為飛秒激光應(yīng)用研究領(lǐng)域的熱點(diǎn)之一。
　　 結(jié)合飛秒激光的高斯型空間分布特性，推導(dǎo)了橫向和軸向加工分辨率的表達(dá)式，初步研究了飛秒激光與透明介質(zhì)和金屬材料之間的相互作用機(jī)制。自行設(shè)計(jì)并建立了一套由顯微鏡和微精密移動(dòng)

2、平臺(tái)等構(gòu)成的飛秒激光三維微細(xì)加工系統(tǒng)。
　　 利用飛秒激光三維微細(xì)加工系統(tǒng)，研究了K9玻璃表面加工線寬與飛秒激光脈沖參數(shù)之間的關(guān)系。優(yōu)化選擇加工參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了微米甚至納米量級(jí)的微加工精度，其最小加工精度為540nm。
　　 研究了飛秒激光脈沖與金膜的相互作用，通過改變顯微物鏡的數(shù)值孔徑、激光單脈沖能量、脈沖個(gè)數(shù)等參數(shù)制備出不同的金膜表面微結(jié)構(gòu)。研究表明，激光作用在金膜表面會(huì)誘導(dǎo)出微孔結(jié)構(gòu)，作用時(shí)的激光參數(shù)對(duì)微孔形貌、尺寸大