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文檔簡(jiǎn)介
1、超聲波流量計(jì)具有非接觸式測(cè)量、測(cè)量范圍寬、安裝簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)，在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中被廣泛應(yīng)用。本文針對(duì)在現(xiàn)在半導(dǎo)體加工工業(yè)過(guò)程中的一類特殊超聲流量計(jì)要求，對(duì)具備典型的低信號(hào)情況（原始信號(hào)僅有幾mv，與噪聲是同級(jí)別的），小管徑，及較復(fù)雜情況（流質(zhì)可能不同，以及可能存在氣泡），提出了完整的解決方案，并介紹了其實(shí)現(xiàn)結(jié)果。
論文基于時(shí)差法的處理方案，主體采用Atmel公司生產(chǎn)的atmega32作為主控制器，通過(guò)級(jí)聯(lián)濾波放大方式處理弱信號(hào)、
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