太陽能電池微納抗反射結構研究.pdf

1、太陽能是一種資源非常豐富，清潔無污的可再生能源。利用太陽能光伏發(fā)電是解決當前對能源急迫需求的一項重要技術，而光伏發(fā)電對轉換效率提出了越來越高的要求。微納米加工技術制備的微納結構具有各種優(yōu)異的性能，尤其是具有抗反射特性的微納陣列結構能夠降低反射率，增加太陽能電池中的光子通量，從而獲得更高的轉換效率。這些性能優(yōu)異的微納抗反射結構為改善太陽能電池性能提供了解決方案，有著非常好的應用前景。
　　本文首先介紹了太陽能電池基本原理，給出了轉換

2、效率、填充因子、短路電流、開路電壓之間的聯(lián)系，為后續(xù)研制高效率太陽能電池提供理論依據；分析了微納抗反射結構及其在太陽能電池中的研究現狀。并運用嚴格耦合波分析法與等效介質理論分析計算了微納結構的光電特性，探討了在太陽能電池前表面或背面制備微納抗反射結構的光學優(yōu)化的方案，以改善太陽能電池性能。
　　利用X射線曝光技術制備了周期約為300nm，高度約為500nm的亞波長光柵陣列結構。分析了X光曝光劑量、PMMA膠、X光掩膜版與樣品間距對