生產(chǎn)型MOCVD電氣控制系統(tǒng)的研發(fā).pdf

1、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉淀技術(shù)(Metal Organic Chemical Vapor Deposition，MOCVD)，是一項制備化合物半導(dǎo)體單晶薄膜的技術(shù)，主要用于發(fā)光二極管的制造。MOCVD設(shè)備是光電子行業(yè)關(guān)鍵設(shè)備。南昌大學(xué)國家硅基LED工程技術(shù)研究中心，研發(fā)人員歷經(jīng)一年多來的的努力，成功研發(fā)出了37×2"GaN基MOCVD設(shè)備并投入運(yùn)行。根據(jù)市場變化情況和外延工藝對設(shè)備的更高要求，需要在設(shè)備的電氣控制、反應(yīng)腔體容量等方面進(jìn)行優(yōu)化

2、設(shè)計和功能提升。
　　 論文的主要任務(wù)是研制新機(jī)型——61×2"GaN基MOCVD設(shè)備完整的電氣控制系統(tǒng)。主要完成了基于工業(yè)以太網(wǎng)和現(xiàn)場總線網(wǎng)絡(luò)的MOCVD控制系統(tǒng)的電氣總體方案設(shè)計;電氣及其控制系統(tǒng)的硬件線路設(shè)計，主要包括加熱電源的主回路和控制回路設(shè)計，控制系統(tǒng)主回路和控制回路設(shè)計、安全互鎖回路的設(shè)計;現(xiàn)場總線DeviceNe網(wǎng)絡(luò)線路設(shè)計及軟件組態(tài)、編程，線路設(shè)計主要包括網(wǎng)絡(luò)的介質(zhì)選擇、網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)組成、電源選擇及在網(wǎng)絡(luò)上的分配;