表面等離子激元彎曲波導(dǎo)的仿真和設(shè)計(jì).pdf

1、表面等離子激元波導(dǎo)具有突破光學(xué)衍射極限的特性，成為了集成光學(xué)領(lǐng)域極具發(fā)展?jié)摿Φ募晒鈱W(xué)器件組件。表面等離子激元波導(dǎo)的模擬仿真工作為研制高性能波導(dǎo)器件奠定了基礎(chǔ)。本文的主要工作是對表面等離子激元彎曲波導(dǎo)進(jìn)行了仿真和設(shè)計(jì)，包括性能模擬、實(shí)驗(yàn)制備和器件研究。
　　本文基于有限元法對表面等離子激元直波導(dǎo)進(jìn)行了模擬仿真，掌握了關(guān)鍵參數(shù)對表面等離子激元波導(dǎo)性能的影響，獲得了優(yōu)化的直波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，并研究了實(shí)驗(yàn)中常用的直波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)的模式光斑，為直波

2、導(dǎo)的實(shí)驗(yàn)樣品制備提供了參考。在直波導(dǎo)模型的基礎(chǔ)上，用保角度變換的思想，對表面等離子激元彎曲波導(dǎo)進(jìn)行了仿真，研究了其模式光斑和損耗 特性，優(yōu)化了其結(jié)構(gòu)參數(shù)，為基于表面等離子激元彎曲波導(dǎo)的器件研究打下了基礎(chǔ)。實(shí)驗(yàn)上，以仿真結(jié)果為指導(dǎo)，設(shè)計(jì)了研表面等離子激元波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)和工藝，制備出了表面等離子激元波導(dǎo)，成功實(shí)現(xiàn)了直波導(dǎo)的通光測試，并對波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)尺寸、損耗特性進(jìn)行了表征。此外，研究了表面等離子激元彎曲波導(dǎo)的應(yīng)用，主要研究了一種新提出的基于表