一種基于深亞微米刻蝕槽的Slot-DBR半導(dǎo)體激光器的設(shè)計(jì)和制作.pdf

1、隨著互聯(lián)網(wǎng)功能的極速發(fā)展，互聯(lián)網(wǎng)經(jīng)濟(jì)在社會(huì)經(jīng)濟(jì)中的重要性和線上生活對(duì)于人民日常生活中的重要性都在與日劇增。伴隨而來是社會(huì)要求互聯(lián)網(wǎng)通信速率日益提高和通信成本的逐漸下降。但于此相反的，銅材等傳統(tǒng)通信所依賴的不可再生資源日益的緊缺和價(jià)格上漲，帶來傳統(tǒng)通信網(wǎng)絡(luò)架設(shè)成本的極速提高。在此前提下，以光纜為傳輸介質(zhì)的光通信系統(tǒng)以其通信速率高，可擴(kuò)展性好和可靠性高當(dāng)仁不讓的成為了新一代通信網(wǎng)絡(luò)的主要選擇。
　　 隨著通信帶寬的日益提高，目前主流

2、的光通信系統(tǒng)從多模光纖通訊及CWDM（Coarse Wavelength Division Multiplexer，稀疏波分復(fù)用系統(tǒng)）發(fā)展到了單模光纖通訊及進(jìn)一步的DWDM（Dense Wavelength Division Multiplexer，密集波分復(fù)用系統(tǒng)）。這一發(fā)展趨勢(shì)有效地提高的所布下光纜網(wǎng)絡(luò)的利用率，在基本不提高布網(wǎng)成本的前提下提升了通信速率。隨之而來的是對(duì)通信光源的數(shù)量需求和成本要求的日益提高。單模波長(zhǎng)可調(diào)諧半導(dǎo)體激光

3、器以其低廉的制造成本和可靠的性能，成為了DWDM系統(tǒng)大范圍推廣的首選光源之一。隨之而來的，是對(duì)大范圍波長(zhǎng)可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的大量需求。
　　 傳統(tǒng)的波長(zhǎng)可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器通常以DFB激光器陣列、DBR激光器、SG-DBR激光器等為主。其中DFB激光器陣列，單個(gè)激光器調(diào)諧范圍較小，需要依靠陣列實(shí)現(xiàn)大范圍調(diào)諧;DBR類激光器多需要納米壓印、電子束光刻、二次外延等高成本的工藝技術(shù);這些選擇不同程度上都具有生產(chǎn)成本高，工藝復(fù)雜的缺點(diǎn)。<