無(wú)鉛磁電復(fù)合薄膜的制備研究.pdf

1、多鐵性磁電復(fù)合材料是集鐵電性與鐵磁性于一體的材料，它不僅具有單一的鐵電性或者鐵磁性，同時(shí)由于鐵電性和鐵磁性的耦合作用會(huì)產(chǎn)生磁電耦合效應(yīng),這種性能極大地豐富了多鐵性材料的物理內(nèi)涵。近幾年來(lái)，多鐵性磁電復(fù)合材料吸引了更多的研究學(xué)者的關(guān)注并引發(fā)了對(duì)此類材料的廣泛研究。因此，多鐵性磁電復(fù)合材料在磁傳感器、信息存儲(chǔ)器以及磁電雙重調(diào)節(jié)的微波器件等眾多領(lǐng)域中有著更為廣闊的應(yīng)用前景。本論文主要是先通過傳統(tǒng)的高溫固相反應(yīng)法制備了高致密度的SrRuO3(S

2、RO)、Ba0.85Ca0.15Ti0.9Zr0.1O3(BCTZ)和NiFe2O4(NFO)陶瓷靶材，之后利用脈沖激光沉積（PLD）法分別制備了BCTZ/SRO和NFO單層薄膜，探究制備單層鐵電薄膜和鐵磁薄膜的最優(yōu)工藝，為后續(xù)制備磁電復(fù)合薄膜打下基礎(chǔ)，之后對(duì)復(fù)合薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和性能進(jìn)行了系統(tǒng)研究。具體研究?jī)?nèi)容如下：
　　1. SRO、BCTZ和NFO陶瓷靶材的制備及結(jié)構(gòu)表征
　　我們利用傳統(tǒng)的高溫固相反應(yīng)法分別制備高致密度

3、的SRO、BCTZ和NFO陶瓷靶材。通過X-ray Diffraction（XRD）對(duì)陶瓷靶材的物相結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)所制備的陶瓷靶材的晶向與標(biāo)準(zhǔn)卡片一致，沒有雜相產(chǎn)生。
　　2. BCTZ單層薄膜的制備及結(jié)構(gòu)和鐵電性能的表征
　　用PLD法在生長(zhǎng)有底電極SRO的SrTiO3(STO)(100)基片上制備BCTZ薄膜。通過對(duì)BCTZ薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和鐵電性能進(jìn)行測(cè)試和分析，得出制備鐵電層的最優(yōu)工藝參數(shù)。
　　3. NFO