薄膜-基層體系力學性質(zhì)同步測試技術研究.pdf

1、在許多先進技術中,薄膜有著廣泛的應用。要研究薄膜結構的穩(wěn)定性、可靠性以及耐久性,需要更好的理解這些薄膜結構的力學性質(zhì)。因此,有必要對薄膜的楊氏彈性模量、泊松比以及膜/基界面的粘附強度等進行精細的力學表征?，F(xiàn)有測試理論通常需要事先假定薄膜的泊松比(或者楊氏彈性模量)為已知參量,然后確定其他參量。然而,我們知道,溫度、濕度、蝕刻方法、加工條件以及制造程序等因素,都可能會引起薄膜力學性質(zhì)的較大差異。因此,采用以往測試數(shù)據(jù)(例如泊松比)對本次實

2、驗而言是有誤差的,并且這一誤差將對本次實驗中楊氏彈性模量、膜/基界面粘附強度的確定都產(chǎn)生影響。所以,本課題致力于,通過對一個實驗樣品的同一組測試數(shù)據(jù)的分析,同時獲得該包衣薄膜有關楊氏彈性模量、泊松比以及膜/基界面粘附強度信息的研究,即所謂的同步測試技術研究。
　　論文主要由以下七個章節(jié)組成:
　　第一章主要介紹了問題的提出及研究意義,并闡述了國內(nèi)外研究現(xiàn)狀、主要研究目標、研究內(nèi)容以及創(chuàng)新之處。
　　第二章介紹了論文研究

3、所需的圓薄板問題基本理論。
　　第三章主要介紹了薄膜/基層體系力學性質(zhì)的現(xiàn)有測試技術。
　　第四章提出了一種新的薄膜/基層體系力學性質(zhì)同步測試技術,該技術能夠通過對同一次實驗數(shù)據(jù)的分析,同時獲得包衣薄膜的楊氏彈性模量、泊松比、膜/基界面的粘附強度。
　　第五章分析了本文提出的同步測試技術的優(yōu)越性,并將這種新的測試技術與現(xiàn)有研究工作作了比較。
　　第六章介紹了本文作者所作的一個驗證性實驗,通過實驗結果與理論推導結果