頻率選擇表面的仿真、加工與測(cè)試研究.pdf

1、頻率選擇表面（frequency selective surface，F(xiàn)SS）是一種周期性平面二維陣列結(jié)構(gòu)，其本質(zhì)是一個(gè)空間電磁濾波器。當(dāng)電磁波與FSS相互作用時(shí)，F(xiàn)SS會(huì)表現(xiàn)出明顯的帶通或帶阻的電磁波透射特性。FSS擁有良好的頻率選擇和極化選擇特性，能夠有效控制電磁波的傳輸與反射。隨著科技的不斷進(jìn)步與發(fā)展，頻率選擇表面已經(jīng)越來(lái)越多的應(yīng)用于微波、紅外波及可見(jiàn)光波段領(lǐng)域。
　　近些年，國(guó)內(nèi)外的學(xué)者及研究機(jī)構(gòu)對(duì) FSS進(jìn)行了各種深入的

2、研究與分析，人們對(duì)FSS各種特性的認(rèn)識(shí)也越趨完善。
　　本文對(duì)頻率選擇表面進(jìn)行了以下的研究：利用CST MWS仿真軟件對(duì)118 GHz頻率選擇表面以及183 GHz頻率選擇表面進(jìn)行仿真，研究了它們的頻率響應(yīng)特性，以及線寬、周期長(zhǎng)度、結(jié)構(gòu)片厚度以及墊片厚度對(duì)頻率響應(yīng)曲線的影響。利用UV-LIGA加工技術(shù)對(duì)118 GHz頻率選擇表面和183 GHz頻率選擇表面進(jìn)行加工，并對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)試。利用掃描電子顯微鏡（scanning elect

3、ron microscope，SEM）對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量樣品的線寬、周期長(zhǎng)度以及結(jié)構(gòu)片厚度。同時(shí)，利用近場(chǎng)掃描法測(cè)試118 GHz頻率選擇表面的傳輸特性和反射特性。經(jīng)試驗(yàn)證明，在滿(mǎn)足指標(biāo)要求的情況下，利用UV-LIGA技術(shù)加工的樣品具有良好的尺寸特性，樣品側(cè)壁陡直，并且118 GHz頻率選擇表面樣品的線寬誤差為±0.6μm；周期長(zhǎng)度誤差為±2μm；結(jié)構(gòu)片厚度誤差為±1μm。對(duì)于183 GHz頻率選擇表面而言，線寬誤差為±2.7μm；周