基于環(huán)氧樹脂鍵合MEMS技術的壓電振動能量收集器制作.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著物聯(lián)網(wǎng)技術的蓬勃發(fā)展，傳感器技術得到了長足的進步。在傳感器技術中，傳感器的供電問題是其關鍵技術之一，本設計意圖開發(fā)一種微電池器件，可以在譬如惡劣環(huán)境、無法更換電池或者是一次性傳感器中工作，解決傳感器的供電問題。
　　本設計論述并采用了一種方法簡便，工藝可靠的CMOS/MEMS工藝混合微加工工藝制作壓電式振動能量收集器。器件采用諧振式d31能量收集方式，使用(100)硅片作為器件基底，使用PZT（鋯鈦酸鉛）作為器件壓電敏感層，使

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