介孔ZnO材料的制備及氣敏性能的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、ZnO氣敏傳感器以其響應速度快、恢復時間短、選擇性好及對環(huán)境污染小等特點成為氣敏傳感器領域研究的熱點,引起人們的廣泛關注。其中, ZnO薄膜表面的孔結構,對于氣體的檢測有著極大的優(yōu)化作用。
  本文主要利用溶膠-凝膠法,以醋酸鋅(Zn(CH3COO)2·2H2O)為原料,聚乙二醇PEG為模板劑,合成了具有孔結構的ZnO薄膜,考察了各種工藝參數(shù)對ZnO薄膜的微觀結構、表面形貌及其氣敏性能的影響,從而得到了以下一些結果:
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2、.絡合劑的加入可以有效地抑制Zn(CH3COO)2·2H2O強烈水解,由二乙醇胺(DEA)做絡合劑所得溶膠合成的ZnO薄膜具有較好的孔結構;醋酸鋅濃度及PEG的加入量對ZnO晶粒尺寸影響不明顯;煅燒時間比煅燒溫度對晶粒尺寸的影響大;ZnO晶粒尺寸隨水浴溫度的升高而增大,增幅不明顯。
  2.具有孔結構的ZnO薄膜,其孔徑大小隨醋酸鋅濃度的增大而增大,孔密度先增大后減?。坏头肿恿勘∧た讖叫?,且孔密度較高;孔徑隨 PEG加入量的增大而

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