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1、低相干干涉測(cè)量法作為光學(xué)測(cè)量的基本方法,在集成光學(xué)器件測(cè)量、生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)以及傳感領(lǐng)域,都有很重要的應(yīng)用價(jià)值。
本文主要研究基于Mach-Zehnder干涉結(jié)構(gòu)的低相干干涉測(cè)量系統(tǒng),在裝置建立、測(cè)量數(shù)據(jù)分析及應(yīng)用等方面的關(guān)鍵問題。系統(tǒng)建立上,由于整個(gè)系統(tǒng)光學(xué)損耗較大,我們使用微弱信號(hào)檢測(cè)中常用的鎖相放大器來增加系統(tǒng)抗噪聲性能。數(shù)據(jù)恢復(fù)上,在分析原有系統(tǒng)和理論的基礎(chǔ)上,本文提出整形加窗法來處理陣列波導(dǎo)長(zhǎng)度差與低相干光源干涉長(zhǎng)度相近
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