射頻IC量產(chǎn)化測試系統(tǒng)及其校正系統(tǒng)開發(fā)與實現(xiàn).pdf

1、高性能和高集成度是當今半導(dǎo)體器件發(fā)展的主流趨勢。隨著芯片內(nèi)部復(fù)雜度的增加,對測試機臺的要求會越來越高,測試成本也隨之增大。半導(dǎo)體行業(yè)的競爭日益激烈,使得開發(fā)高性能低成本的測試機臺具有重要的現(xiàn)實和理論意義。課題著眼于市場的迫切需求,旨在開發(fā)出一套性能優(yōu)越、成本低廉的射頻芯片量產(chǎn)化測試系統(tǒng)。
　　本文主要是圍繞設(shè)計射頻測試系統(tǒng)及其配套的校正系統(tǒng)兩大任務(wù)展開的。
　　首先,研究國內(nèi)外現(xiàn)狀,并介紹了半導(dǎo)體測試的基本理論、分析了本系統(tǒng)

2、與同類系統(tǒng)相比的優(yōu)點。
　　其次,開發(fā)測試系統(tǒng)。包括三個方面的內(nèi)容:
　　(1)根據(jù)芯片測試要求選擇J750和PXI射頻模塊儀表的配置,并設(shè)計了系統(tǒng)的軟硬件平臺架構(gòu)。
　　(2)根據(jù)待測射頻信號具體情況開發(fā)射頻控制箱。在開發(fā)前對射頻功率測試的誤差原理做了理論研究,得出鏈路開發(fā)中減小射頻功率測試誤差的方法。
　　(3)開發(fā)測試系統(tǒng)軟件平臺。包括設(shè)計、開發(fā)系統(tǒng)流程,開發(fā)具體測試項,用模塊類優(yōu)化測試參數(shù)及測試常用動作(

3、鏈路切換、管腳控制等),設(shè)計文件操作程序,設(shè)計測試界面等。
　　再次,開發(fā)校正系統(tǒng)。包括三個方面的內(nèi)容:
　　(1)設(shè)計校正系統(tǒng)總體架構(gòu),設(shè)計校正流程。
　　(2)開發(fā)GPIB相關(guān)程序,用類模塊優(yōu)化校正參數(shù)管理及校正常用動作,開發(fā)數(shù)據(jù)存儲功能。
　　(3)開發(fā)儀表及射頻控制箱校正項,開發(fā)校正界面。
　　最后,研究了測試系統(tǒng)性能,包括系統(tǒng)測試誤差、測試不確定度等;并用系統(tǒng)測試參數(shù)對芯片過程能力做了分析。

4、>　　本次開發(fā)提出并實現(xiàn)了由中低端測試機臺外掛射頻儀表,產(chǎn)生射頻測試能力的設(shè)計思想。這對降低集成電路測試成本、提高我國量產(chǎn)化集成電路的競爭能力有重要的現(xiàn)實意義。在開發(fā)中還提出并實現(xiàn)了在線EQC的測試思路,這極大方便了卷裝料的量產(chǎn)測試。在開發(fā)中運用了類模塊的設(shè)計思想,這對程序書寫、管理,對其他芯片程序移植,及后續(xù)系統(tǒng)擴展升級都提供了很大方便。
　　需要說明的是,本課題選擇了RF7168射頻芯片做開發(fā)例,但系統(tǒng)對這類射頻參數(shù)不是很多,