玻璃基Ag-TiO2膜的制備及其應用性能研究.pdf

1、透光隔熱膜不僅要滿足正常采光的要求，而且要有效阻隔紅外光和紫外光，達到透光隔熱的目的，其在汽車、建材等方面具有廣闊的應用前景。本文基于增透薄膜理論，設計了Ag/TiO2透光隔熱復合膜，采用磁控濺射工藝在玻璃基底上制備了Ag/TiO2復合膜，系統(tǒng)研究了膜層的厚度與制備參數(shù)、底層材料對復合膜透光隔熱性能的影響，并優(yōu)化出膜層的較佳制備參數(shù)。
　　基于汽車玻璃膜對透光隔熱的要求，提出了Ag/TiO2復合膜的設計思路，采用TFCalc軟件模

2、擬其光學性能，得到了復合膜滿足透光隔熱要求的膜層較佳厚度為：Ag膜15nm，TiO2膜20nm。
　　研究了Ag膜的厚度對Ag/TiO2復合膜透光隔熱性能的影響規(guī)律。結(jié)果表明：隨著Ag膜濺射時間的增加，Ag膜厚度增大，復合膜隔熱溫差增大，而可見光平均透過率呈現(xiàn)先增大后減少的變化規(guī)律。
　　研究了TiO2膜層的制備參數(shù)對Ag/TiO2復合膜透光隔熱性能的影響規(guī)律，并對制備參數(shù)進行了優(yōu)化。結(jié)果表明：（1）可見光平均透過率和隔熱溫

3、差隨本底真空度、濺射時間、射頻功率、氬氣流量的增加先增大后減少；（2）制備參數(shù)對可見光平均透過率的影響程度由大到小的順序依次為氬氣流量、射頻功率、濺射時間、本底真空度；（3）制備參數(shù)對隔熱溫差的影響程度由大到小的順序依次為本底真空度、濺射時間、射頻功率、氬氣流量。（4）TiO2膜層的較佳制備參數(shù)組合為：本底真空度4×10-3Pa，射頻功率150w，濺射時間15min，氬氣流量20mL·min-1。
　　研究了底層材料對Ag/TiO