微納三維定位工作臺機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與有限元分析.pdf

1、三維坐標(biāo)測量機(jī)廣泛的運(yùn)用于精密測量行業(yè)中，超高精密技術(shù)的日益發(fā)展推動(dòng)了納米測試技術(shù)的發(fā)展，對三坐標(biāo)測量機(jī)性能及精度提出更高的要求，因此研制具有納米級精度的三坐標(biāo)測量機(jī)已成為當(dāng)務(wù)之急。實(shí)現(xiàn)納米級測量對三坐標(biāo)測量機(jī)三維定位工作臺結(jié)構(gòu)精度提出了更高要求，本文主要對納米三坐標(biāo)測量機(jī)的三維定位工作臺進(jìn)行了研究與設(shè)計(jì)。
　　采用了“331”原則完成了納米三坐標(biāo)測量機(jī)主體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。結(jié)合主體結(jié)構(gòu)及精密機(jī)械設(shè)計(jì)原則，運(yùn)用機(jī)械設(shè)計(jì)軟件Solidwor

2、ks完成了測量機(jī)的三維定位平移臺的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，包括通用器件選型、測量器件選型及其調(diào)整機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、共平面二維定位平移臺部件設(shè)計(jì)、Z向定位工作臺部件設(shè)計(jì)及基臺設(shè)計(jì)五部分。
　　運(yùn)用有限元分析軟件ANSYS對微納三維定位工作臺各部分不同狀態(tài)進(jìn)行了一系列的建模和重力及自重分析，分析指出：Z向工作臺及配重的重力引起的X、Y向定位工作臺在運(yùn)動(dòng)中結(jié)構(gòu)變形過大，對此提出添加力平衡系統(tǒng)的方案以平衡Z向系統(tǒng)重力；X、Y向工作臺自重變形過大，通過適當(dāng)增