基于輸入并聯(lián)輸出并聯(lián)的偏壓電源研究與設(shè)計(jì).pdf

1、等離子體加工技術(shù)作為一種先進(jìn)的加工方式，主要應(yīng)用于材料、環(huán)境和能源等領(lǐng)域中。磁控濺射因其高效和低溫的特點(diǎn)而廣泛應(yīng)用，而隨著真空腔和靶材面積的不斷增大，大功率、高性能的偏壓電源成為了磁控濺射用電源的主要發(fā)展趨勢。
　　本文主要針對大功率磁控濺射偏壓電源的模塊化并聯(lián)均流問題進(jìn)行了詳細(xì)的研究，首先分析了DC/DC變換器并聯(lián)時(shí)不均流的原因，其次對常見的均流方式進(jìn)行了介紹，之后設(shè)計(jì)了一種輸入并聯(lián)輸出并聯(lián)移相全橋（PSFB-IPOP）組合變換

2、器，并詳細(xì)分析了所設(shè)計(jì)的組合變換器在模塊占空比相同和不同時(shí)的工作模態(tài)，證明了所設(shè)計(jì)的組合變換器不受變換器內(nèi)阻、輸出濾波電感、占空比等參數(shù)的影響。
　　之后根據(jù)所提出的電源指標(biāo)進(jìn)行了主電路的參數(shù)設(shè)計(jì)和器件選型，并在Pspice軟件環(huán)境下對比了不使用均流策略的兩個(gè)全橋變換器直接并聯(lián)和本文所設(shè)計(jì)的組合變換器并聯(lián)時(shí)的均流情況。
　　最后，在理論分析和軟件仿真驗(yàn)證的基礎(chǔ)上，搭建了一臺10kW的偏壓電源實(shí)驗(yàn)樣機(jī)。通過仿真和實(shí)驗(yàn)的結(jié)果，對