大功率磁控濺射鍍膜開關(guān)電源的研究與設(shè)計.pdf

1、隨著現(xiàn)代人類科學(xué)技術(shù)和生活質(zhì)量地不斷提高,客戶對鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量及表面的要求也逐年提高?；谝陨弦蛩?對鍍膜設(shè)備而言,不但需要具備優(yōu)良的穩(wěn)定性,而且要有很高的效率。
　　 在磁控濺射技術(shù)中,高頻開關(guān)電源的設(shè)計是整個技術(shù)的重要部分。隨著電力電子技術(shù)的迅速發(fā)展,現(xiàn)今的開關(guān)電源向大功率、高頻化的方向發(fā)展。本文就是針對鍍膜設(shè)備的要求設(shè)計了一臺大功率磁控濺射開關(guān)電源。
　　 論文首先介紹了目前開關(guān)電源的發(fā)展現(xiàn)狀以及趨勢、開關(guān)電源的原

2、理;磁控濺射工藝環(huán)節(jié)的原理,以及濺射鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。然后論證了各種開關(guān)電源主電路的拓撲結(jié)構(gòu),并分析它們的優(yōu)缺點,確定以全橋式變換器拓撲作為主電路形式,選用MOSFET作為功率開關(guān)管。對高頻開關(guān)電源變壓器主要參數(shù)的確定、磁芯和高頻磁線的選擇進行了詳細設(shè)計。在控制電路設(shè)計中,選用由ST(意法半導(dǎo)體)公司生產(chǎn)設(shè)計的SG3525 PWM脈沖控制器,并設(shè)計反饋電路、保護電路、驅(qū)動電路等。其中,反饋電路的設(shè)計,利用了LM324和LM224放大器

3、對電壓和電流的數(shù)值進行比較,控制電源的開、關(guān)狀態(tài),通過建模加入了補償器,減小因為誤動作而引起開關(guān)電源的不穩(wěn)定輸出,提高了電源的可靠性。其次,對驅(qū)動電路而言,考慮到資源占用量少、性價比以及減小電源的體積的目的,最終選擇美國的IR2110驅(qū)動芯片,并詳細講述了外圍電路的設(shè)計方法。然后,設(shè)計了提供各個芯片正常工作的輔助開關(guān)電源。它使用了反激變換拓撲結(jié)構(gòu),利用單片開關(guān)電源控制芯片。"FOP204作為主要器件。在對變壓器副邊電壓的設(shè)計中,加入了T