主動減振系統(tǒng)傳感單元設(shè)計與分析.pdf

1、隨著超精密加工設(shè)備精度的不斷提高,對加工環(huán)境的要求也越發(fā)苛刻,對振動的要求便是其中非常重要的一項。相比于傳統(tǒng)的被動隔振方式,主動隔振方式能夠獲得更寬的隔振頻帶,且能夠克服被動隔振無法同時對地面振動和負(fù)載振動進(jìn)行良好隔離的劣勢。而傳感單元是主動減振實現(xiàn)其功能的重要組成部分,對其進(jìn)行深入的研究有重要的理論和實用意義。
　　本文從主動減振系統(tǒng)的工作原理出發(fā),提出了對傳感單元的功能要求,在此基礎(chǔ)上設(shè)計并分析了傳感單元的總體實現(xiàn)方案,對其中

2、將要采用的非接觸位移傳感器、絕對速度傳感器進(jìn)行了選型比較,確定了所選傳感器的型號及性能指標(biāo),完成了傳感單元總體方案的設(shè)計。
　　建立了速度傳感器的動態(tài)模型,從機(jī)械結(jié)構(gòu)及外部噪聲等方面分析了其低頻檢測的限制因素。闡述了對速度傳感器進(jìn)行軟件低頻補償?shù)脑?并應(yīng)用不同的方法設(shè)計了補償器,對比了這幾種方法的時域仿真結(jié)果,針對其中兩種可行的方法作了詳細(xì)介紹,從時域結(jié)果及頻域結(jié)果比較了兩者的補償效果,為實際應(yīng)用中選擇合適的方法進(jìn)行速度傳感器的