半導(dǎo)體廠房空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能研究.pdf

1、近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在我國(guó)的高速發(fā)展，潔凈廠房的總面積快速增長(zhǎng)，其巨大的建筑能耗已成為世界性節(jié)能運(yùn)動(dòng)中不可忽視的因素。特別是對(duì)于24小時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)的工廠，電能的消耗是非常大的，降低其運(yùn)行能耗尤為重要。本文主要從對(duì)電能的節(jié)省著手，通過(guò)數(shù)值模擬和對(duì)半導(dǎo)體廠房實(shí)際數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)分析及經(jīng)濟(jì)性比較，得出了半導(dǎo)體廠房室內(nèi)空氣質(zhì)量控制的方法及空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施，為該類(lèi)建筑的節(jié)能提供理論依據(jù)和設(shè)計(jì)參考。
　　根據(jù)半導(dǎo)體潔凈廠房的氣流組織理論與現(xiàn)有的兩種氣

2、流方式，運(yùn)用CFD數(shù)值模擬對(duì)車(chē)間的氣流組織進(jìn)行節(jié)能研究。在CFD模擬過(guò)程中采用了有限容積法，使用Fluent軟件對(duì)兩種氣流組織形式在不同送風(fēng)速度下的溫度場(chǎng)和速度場(chǎng)進(jìn)行模擬。結(jié)果表明，在ISO6級(jí)的亂流潔凈室中，上送側(cè)回的氣流方式對(duì)車(chē)間的凈化效果較好，溫度場(chǎng)及速度場(chǎng)更均勻，也有利于保持潔凈室的潔凈度。在相同潔凈度的要求下，上送側(cè)回可以通過(guò)減少潔凈室的換氣次數(shù)，進(jìn)而減少送風(fēng)量，對(duì)于潔凈室的節(jié)能意義重大。
　　通過(guò)半導(dǎo)體潔凈廠房中近一年

3、空調(diào)循環(huán)水系統(tǒng)冷源及末端能耗的實(shí)際數(shù)據(jù)，分析并研究了其能耗組成及節(jié)能潛力，提出了切實(shí)可行的節(jié)能措施。研究發(fā)現(xiàn)，對(duì)于能耗占全廠能耗30％以上的冷水機(jī)組在全年滿負(fù)荷運(yùn)行時(shí)間少于20%的情況中，采用增加變頻器的方法節(jié)能更有效，其COP值遠(yuǎn)大于額定值。同時(shí)，在循環(huán)水系統(tǒng)中應(yīng)用變頻水泵，水泵的運(yùn)行更加經(jīng)濟(jì)，壽命更長(zhǎng)，使得運(yùn)行工程師的維護(hù)保養(yǎng)也較之以前簡(jiǎn)單。變頻器的使用在部分負(fù)荷的情況下，其獨(dú)特的軟啟動(dòng)減少了對(duì)電網(wǎng)的沖擊，根據(jù)水泵及風(fēng)機(jī)的運(yùn)行曲線發(fā)