半導體廠房空調系統(tǒng)節(jié)能研究.pdf

1、近年來，隨著半導體產業(yè)在我國的高速發(fā)展，潔凈廠房的總面積快速增長，其巨大的建筑能耗已成為世界性節(jié)能運動中不可忽視的因素。特別是對于24小時運轉的工廠，電能的消耗是非常大的，降低其運行能耗尤為重要。本文主要從對電能的節(jié)省著手，通過數(shù)值模擬和對半導體廠房實際數(shù)據(jù)的統(tǒng)計分析及經濟性比較，得出了半導體廠房室內空氣質量控制的方法及空調系統(tǒng)的節(jié)能措施，為該類建筑的節(jié)能提供理論依據(jù)和設計參考。
　　根據(jù)半導體潔凈廠房的氣流組織理論與現(xiàn)有的兩種氣

2、流方式，運用CFD數(shù)值模擬對車間的氣流組織進行節(jié)能研究。在CFD模擬過程中采用了有限容積法，使用Fluent軟件對兩種氣流組織形式在不同送風速度下的溫度場和速度場進行模擬。結果表明，在ISO6級的亂流潔凈室中，上送側回的氣流方式對車間的凈化效果較好，溫度場及速度場更均勻，也有利于保持潔凈室的潔凈度。在相同潔凈度的要求下，上送側回可以通過減少潔凈室的換氣次數(shù)，進而減少送風量，對于潔凈室的節(jié)能意義重大。
　　通過半導體潔凈廠房中近一年

3、空調循環(huán)水系統(tǒng)冷源及末端能耗的實際數(shù)據(jù)，分析并研究了其能耗組成及節(jié)能潛力，提出了切實可行的節(jié)能措施。研究發(fā)現(xiàn)，對于能耗占全廠能耗30％以上的冷水機組在全年滿負荷運行時間少于20%的情況中，采用增加變頻器的方法節(jié)能更有效，其COP值遠大于額定值。同時，在循環(huán)水系統(tǒng)中應用變頻水泵，水泵的運行更加經濟，壽命更長，使得運行工程師的維護保養(yǎng)也較之以前簡單。變頻器的使用在部分負荷的情況下，其獨特的軟啟動減少了對電網(wǎng)的沖擊，根據(jù)水泵及風機的運行曲線發(fā)