基于微流量傳感器的平板微熱管傳熱特性分析.pdf

1、平板微熱管是良好的傳熱元件，其管內(nèi)蒸汽流動狀態(tài)是評價微熱管傳熱特性的重要物理參數(shù)。由于平板微熱管的體積非常有限，到目前為止人們只是在理論上通過建模和計算得到微熱管內(nèi)部軸向蒸汽流速分布，缺少實(shí)驗(yàn)的驗(yàn)證。本文嘗試從實(shí)驗(yàn)上開展平板微熱管內(nèi)部蒸汽流量的測量，希望能對平板微熱管的研究提供有效的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。
　　論文在闡述了平板微熱管傳熱機(jī)理及熱式微流量傳感器檢測原理的基礎(chǔ)上，給出了熱式微流量傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計，利用MEMS工藝制作出集成了微流量

2、傳感器的玻璃蓋片、玻璃環(huán)和三角形槽道的硅基微熱管芯片，將上述芯片以三明治結(jié)構(gòu)進(jìn)行封接，制作出集成了微流量傳感器的平板微熱管。在完善檢測電路設(shè)計的基礎(chǔ)上，搭建了微流量傳感器檢測系統(tǒng)，在對溫度傳感器進(jìn)行標(biāo)定后，檢測了不同環(huán)境溫度下加熱器周圍的溫度場分布，得到了微流量傳感器的最佳檢測條件，并對熱式微流量傳感器進(jìn)行了標(biāo)定。在此基礎(chǔ)上，分別測量了平板微熱管內(nèi)部蒸發(fā)段、絕熱段和冷凝段的蒸汽流量。
　　測試結(jié)果表明，在相同加熱功率下，絕熱段的工