MMI-MZI波導(dǎo)結(jié)構(gòu)制造工藝研究.pdf

1、馬赫-澤德結(jié)構(gòu)器件(Mach-ZehnderInterferometer,MZI)在光子集成器件中有著廣泛的用途,可以制備各種基于馬赫-澤德干涉結(jié)構(gòu)的光信號(hào)處理器件,如波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器件、波分復(fù)用器件、光開光器件等,這些集成器件在光通信網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中發(fā)揮著重要的作用。
　　本論文著重于研究馬赫-澤德器件的波導(dǎo)結(jié)構(gòu),特別是其中的分束耦合器件以及相移器件,主要工作如下:
　　1.研究了馬赫-澤德結(jié)構(gòu)的基本工作原理及其在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用,

2、介紹了目前制造馬赫-澤德結(jié)構(gòu)的集成工藝的基本技術(shù)方案。
　　2.分析了一般情況下光子集成器件中的波導(dǎo)結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)了MMI結(jié)構(gòu)分束/耦合器件以及相位調(diào)節(jié)器件。分析了波導(dǎo)中的光場(chǎng)傳輸模式和模場(chǎng)分布,通過對(duì)器件結(jié)構(gòu)進(jìn)行仿真,模擬了不同情況下,器件的制造誤差對(duì)傳輸功率的影響,為實(shí)際器件的制備提供了指導(dǎo)作用。
　　3.通過微納制造平臺(tái)制備了不同尺寸的MMI/Y分支結(jié)構(gòu)器件以及相應(yīng)的MZI結(jié)構(gòu)波導(dǎo)器件,研究了光刻工藝過程中各個(gè)參數(shù)對(duì)圖形寬