基于MCs-51單片機(jī)的甩干機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、本設(shè)計(jì)介紹了基于MCS-51系列8051單片機(jī)的甩干機(jī)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。在半導(dǎo)體工藝中把做好的芯片從大源片上分離開來,需要一步叫劃片的工藝。劃片工藝是使用金剛砂輪把硅片切開,在切割的過程中能產(chǎn)生大量的硅片和金屬等的碎渣,這些碎渣會對芯片造成沾污,這就需要在劃片工藝中形成的礦渣進(jìn)行清除,方法是對硅片進(jìn)行清洗。傳統(tǒng)的清洗方法是用高壓水槍噴水清洗,或者用棉絨等蘸水擦洗,然后用氮?dú)獯蹈伞＿@些方法容易造成對做好的芯片表面的劃傷或者二次污染,清洗效果

2、不佳。
　　所以需要有一種專門清洗這種硅片的設(shè)備,既能清洗干凈,又不會產(chǎn)生二次污染。國外對此工藝的處理,先進(jìn)的大公司使用的是清洗機(jī),但一般使用PLC控制,功能強(qiáng)大,但成本很高,不利于大范圍的推廣使用。結(jié)合此經(jīng)驗(yàn),用兩個(gè)MSC-51系列8051單片機(jī)代替PLC,既能完成清洗工藝,又降低了成本。這種清洗機(jī),首先利用噴出的氮?dú)夂透邏核畞砬逑垂杵?然后停止噴水,利用高速旋轉(zhuǎn)和噴出的氮?dú)?將硅片吹干,使硅片的清洗和干燥比較均勻。主要完成的功

3、能包括按鍵控制、LCD顯示、抽真空吸片、低速旋轉(zhuǎn)沖洗、高速旋轉(zhuǎn)甩干、步進(jìn)電機(jī)擺動、排水以及由氣缸控制的開關(guān)門動作。單片機(jī)系統(tǒng)輸出的信號經(jīng)三極管放大后,由驅(qū)動芯片進(jìn)行驅(qū)動控制12V繼電器,再控制電磁閥和直流電機(jī)驅(qū)動器,從而控制各功能部分動作。同時(shí)單片機(jī)輸出一定頻率的脈沖信號和高低電平信號到步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動器,控制步進(jìn)電機(jī)的擺動速率和方向。單片機(jī)掃描鍵盤狀態(tài),根據(jù)狀態(tài)進(jìn)行特定的動作。各個(gè)檢測傳感器把檢測到的信號放大后輸入到單片機(jī)中進(jìn)行運(yùn)算處理。