大功率波長(zhǎng)穩(wěn)定半導(dǎo)體激光器中全息光柵的制備.pdf

1、半導(dǎo)體激光器以其體積小、效率高等優(yōu)良特性在激光通信、激光泵浦等諸多領(lǐng)域占據(jù)著至關(guān)重要的地位。但是，隨著應(yīng)用的日益廣泛，半導(dǎo)體激光器的激射波長(zhǎng)的穩(wěn)定性低的問(wèn)題逐漸出現(xiàn)在研究者們的視野。為了解決上述問(wèn)題，DFB（分布反饋）激光器、DBR（分布布拉格反射）激光器等相繼出現(xiàn)。考慮到DFB激光器的體積小，波長(zhǎng)穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)，以及808nm半導(dǎo)體激光器在激光泵浦中具有非常廣泛的應(yīng)用，本文主要設(shè)計(jì)并制作了大功率808nm DFB半導(dǎo)體激光器。

2、　　通過(guò)對(duì)大功率 LD808nmDFB的相關(guān)理論進(jìn)行的系統(tǒng)分析，并考慮到了光電轉(zhuǎn)化效率、輸出線寬、溫漂系數(shù)等相關(guān)參數(shù)，結(jié)合耦合模理論以及傳輸矩陣法，初步確定了光柵的參數(shù)，如：長(zhǎng)度L、衍射級(jí)數(shù)m、周期Λ、占空比σ、凹槽深度dg。隨后，利用激光干涉全息曝光和濕法腐蝕工藝制作出適用于大功率 LD808nmDFB?中的/InGaPInGaP/GaAsP多膜光柵，利用SEM（掃描電子顯微鏡）、AFM（原子力顯微鏡）分析了所制備的全息光柵，在最佳實(shí)