基于DLP應(yīng)用的光刻物鏡設(shè)計(jì)與微型投影機(jī)光學(xué)系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著信息技術(shù)的發(fā)展，數(shù)字化時(shí)代的到來(lái)，DLP數(shù)字光處理技術(shù)作為一項(xiàng)世界領(lǐng)先的數(shù)字化投影顯示技術(shù)，除了被廣泛使用于人們所熟知的包括數(shù)字影院、商務(wù)、教育和家庭影院在內(nèi)的應(yīng)用場(chǎng)景之外，如今也已滲透進(jìn)入工業(yè)、個(gè)人消費(fèi)電子類產(chǎn)品、醫(yī)療、汽車等眾多領(lǐng)域。近年來(lái)，將DLP技術(shù)應(yīng)用于PCB印刷電路板的光刻領(lǐng)域受到人們的高度關(guān)注。雖然傳統(tǒng)PCB光刻已經(jīng)發(fā)展得很成熟，但是無(wú)論從效益、成本、精度，還是環(huán)保等方面來(lái)講，都已經(jīng)無(wú)法跟上時(shí)代的步伐，而基于DLP的數(shù)

2、字光刻技術(shù)恰恰在傳統(tǒng)光刻的基礎(chǔ)上，增添進(jìn)了數(shù)字現(xiàn)代化這一因素，使PCB光刻重新跟上了時(shí)代的節(jié)奏。因此，針對(duì)高精度PCB的制作，DLP數(shù)字光刻系統(tǒng)的研究和開(kāi)發(fā)目前顯得尤為重要。另外，在投影顯示領(lǐng)域，隨著人們對(duì)投影顯示設(shè)備的移動(dòng)便攜性需求越來(lái)越大，傳統(tǒng)投影機(jī)龐大而又笨重的體積根本不能滿足這種便攜式場(chǎng)景的使用，因此，DLP微型投影機(jī)作為目前投影市場(chǎng)的大熱，針對(duì)其的研究也顯得十分之具有實(shí)際性意義與市場(chǎng)價(jià)值。
　　針對(duì)DLP數(shù)字光刻，本文利

3、用Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件，設(shè)計(jì)出了一套適用于型號(hào)0.7XGA DMD的10片式光刻投影物鏡，該物鏡在采用非對(duì)稱性結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前組為改進(jìn)過(guò)的三分離物鏡，后組則為匹茲伐物鏡加平像場(chǎng)鏡。經(jīng)對(duì)其結(jié)果進(jìn)行像質(zhì)評(píng)價(jià)后，表明其具備更佳的成像效果，且分辨率達(dá)到了2μm，滿足了微米級(jí)PCB光刻的使用需求。在對(duì)該鏡頭進(jìn)行公差分析后，也證明了這種非對(duì)稱性結(jié)構(gòu)加工和校裝的可能性。將該投影物鏡運(yùn)用于DLP數(shù)字光刻系統(tǒng)中，相信可為高質(zhì)量的圖像轉(zhuǎn)移提供有力的保障。

4、
　　針對(duì)DLP微型投影機(jī)光學(xué)系統(tǒng)，分析了基于合光方式來(lái)劃分的三種光學(xué)結(jié)構(gòu)及各自優(yōu)缺點(diǎn)，并采用了其中的三通道合光作為該系統(tǒng)的光學(xué)結(jié)構(gòu)。接著介紹和研究了微型投影機(jī)照明系統(tǒng)的主要組成，包括光源、準(zhǔn)直系統(tǒng)、均束系統(tǒng)以及全反射棱鏡。對(duì)于成像系統(tǒng)，則根據(jù)使用需求，設(shè)計(jì)了一組適用于微投影顯示的投影物鏡，在分析了該物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)果之后，得出其符合各項(xiàng)投影指標(biāo)、具備優(yōu)良成像質(zhì)量的結(jié)論。最后利用Trace Pro光學(xué)仿真軟件對(duì)整個(gè)DLP微型投影機(jī)光學(xué)