脈沖氣體激光器的注入鎖定及功率振蕩器環(huán)形腔設(shè)計(jì).pdf

1、光刻技術(shù)作為半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展主要驅(qū)動(dòng)力受到人們極大的關(guān)注。本論文主要研究獲得窄線寬、高功率光刻機(jī)光源的注入鎖定技術(shù)。
　　首先,本論文對(duì)注入鎖定技術(shù)的原理概念做了論述,在此基礎(chǔ)上闡述了要獲得窄線寬、高能量的脈沖信號(hào)注入鎖定的線寬壓縮模塊,功率振蕩器的諧振腔模塊,主振與功率振蕩器的隔離裝置以及延時(shí)控制模塊,對(duì)以上模塊進(jìn)行了分析與對(duì)比。其次,本論文使用TEA CO2激光器進(jìn)行了脈沖信號(hào)注入鎖定的模擬實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)研究了注入種子光的延時(shí)時(shí)間,

2、注入支線,最佳延時(shí)下的注入能量以及橫模匹配等因素對(duì)注入鎖定輸出光束的影響,獲得了種子光的最佳延時(shí)時(shí)間,得出在該時(shí)刻輸出脈沖功率最高,在該時(shí)刻的兩側(cè),輸出功率不斷的降低。且隨著種子光的注入能量的不斷增大,注入的放大倍數(shù)逐漸減小,慢慢的趨于飽和,在3倍左右。同時(shí)實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)在伺服激光器多支線運(yùn)行的條件下,隨著注入支線增益逐漸減小,注入鎖定越來(lái)越困難。實(shí)驗(yàn)中還得出了橫模匹配可以有效的改善注入鎖定效果。本論文還進(jìn)行了注入鎖定與主振放大的實(shí)驗(yàn)對(duì)比,得