脈沖氣體激光器的注入鎖定及功率振蕩器環(huán)形腔設(shè)計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光刻技術(shù)作為半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展主要驅(qū)動力受到人們極大的關(guān)注。本論文主要研究獲得窄線寬、高功率光刻機光源的注入鎖定技術(shù)。
　　首先,本論文對注入鎖定技術(shù)的原理概念做了論述,在此基礎(chǔ)上闡述了要獲得窄線寬、高能量的脈沖信號注入鎖定的線寬壓縮模塊,功率振蕩器的諧振腔模塊,主振與功率振蕩器的隔離裝置以及延時控制模塊,對以上模塊進行了分析與對比。其次,本論文使用TEA CO2激光器進行了脈沖信號注入鎖定的模擬實驗,實驗研究了注入種子光的延時時間,

2、注入支線,最佳延時下的注入能量以及橫模匹配等因素對注入鎖定輸出光束的影響,獲得了種子光的最佳延時時間,得出在該時刻輸出脈沖功率最高,在該時刻的兩側(cè),輸出功率不斷的降低。且隨著種子光的注入能量的不斷增大,注入的放大倍數(shù)逐漸減小,慢慢的趨于飽和,在3倍左右。同時實驗發(fā)現(xiàn)在伺服激光器多支線運行的條件下,隨著注入支線增益逐漸減小,注入鎖定越來越困難。實驗中還得出了橫模匹配可以有效的改善注入鎖定效果。本論文還進行了注入鎖定與主振放大的實驗對比,得

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