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文檔簡介
1、隨著激光技術在加工制造業(yè)中的廣泛應用,人們對微細加工的精度和效率的要求也越來越高。飛秒激光加工技術具有真三維、超分辨、熱影響小、加工材料廣泛等獨特的優(yōu)勢,成為加工領域的前沿技術。為了實現高質量、高精度、高速度的微納加工,本研究改進了原有的飛秒激光加工系統(tǒng),增加了自動對焦光路,并行加工光路,并利用LabVIEW軟件編寫了整個系統(tǒng)的控制程序。本課題來源于國家自然科學基金重點項目(51275502),主要研究內容如下:
將共焦顯微技
2、術引入到加工系統(tǒng)中,設計了飛秒激光加工自動對焦光路,分析了搭建的共焦顯微系統(tǒng)的成像分辨率,采用仿真三維點擴散函數曲線的方法,得到激光能量閾值下的自動對焦精度為0.05μm。
將空間光調制技術引入到加工系統(tǒng)中,搭建了一套全息并行加工系統(tǒng)。根據目標光場,設計相應的計算全息圖,并將其加載到空間光調制器上實現對飛秒激光光束的靈活調制,可以得到具有較高清晰度的圖案式加工結果。
最后利用圖形化軟件LabVIEW編寫了改進系統(tǒng)的控
3、制程序。根據目標光場分布,采用G-S算法,利用MATLAB生成加工過程中所需要的計算全息圖;通過對共焦顯微鏡、光閘和三維掃描臺的控制,完成了光路的自動對焦;利用LabVIEW調用計算全息圖,將其加載到空間光調制器上實現圖案式加工;改變入射激光的波長,控制三維掃描臺對加工區(qū)域搜索,利用共焦顯微系統(tǒng)的光電倍增管可以讀出樣品的內部信息。
本文改進的加工系統(tǒng),實現了飛秒激光的自動對焦,全息并行加工,并利用LabVIEW將飛秒激光加工過
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