高精度氣體靜壓電主軸關鍵技術研究.pdf

1、多孔質(zhì)節(jié)流氣體靜壓電主軸以其高速、高精度、高承載以及清潔無污染等優(yōu)點，在超精密制造領域備受青睞。本文從氣體靜壓軸承的靜態(tài)特性、電主軸的結構優(yōu)化設計分析、關鍵零件制造工藝以及電主軸性能測試等方面對氣體靜壓電主軸的關鍵技術進行了深入研究，主要內(nèi)容包括：采用基于有限體積法的Fluent軟件對多孔質(zhì)氣體靜壓徑向軸承和止推軸承的靜態(tài)特性進行了建模分析，研究了動壓效應、節(jié)流方式、供氣壓力、軸承尺寸等因素對氣體靜壓軸承特性的影響。采用Fluent軟件

2、建模對比分析了球形與圓柱形軸承的承載力及剛度；采用Solidworks軟件的Simulation模塊對比分析了“工”字型、前“T”字型和后“T”字型轉子結構對模態(tài)的影響；對比分析了電機位置和電機尺寸對模態(tài)分析的影響。對不同材料的轉子進行了靜態(tài)熱分析和熱-結構耦合分析，得出了轉子溫升與熱變形結果；分析了橢圓誤差、凹凸平面度誤差對軸承特性的影響，得出幾何誤差對軸承特性的影響。采用Taylor Hobson圓柱度儀對轉子的制造精度進行檢驗；搭