用于計算電容主電極精確定位安裝的電容式測微距傳感器設計.pdf

1、電容式位移傳感器具有體積小、結構簡單、非接觸式測量、動態(tài)響應快、無遲滯變形、分辨率高、對高溫等惡劣環(huán)境適應能力強、價格便宜等優(yōu)勢，目前廣泛應用于納米級精密制造與測量等超精密位移測量領域。
　　本課題的目的在于通過“電容式位移傳感器精確定位”的技術與方法，設計一款電容式測微距傳感器裝置，用以解決新一代立式可移動屏蔽型計算電容中四根主電極的安裝和調整工作，使其對整個計算電容系統(tǒng)的不確定度影響降到10-9數量級。本文所研究的主要內容包括

2、：
　　第一章對超精密位移測量技術及電容式位移測量技術進行了概述，并對計算電容的研究背景及立式計算電容的發(fā)展做了相關介紹。
　　第二章概括介紹了計算電容的主體機械結構以及參數，以及其核心部件——4根圓柱型主電極的安裝和初始定位調整方法。
　　第三章探討了4根主電極精確定位安裝的方法——電容式測微距傳感器精確定位，講述了其工作基本原理，并依據計算電容主體機械結構以及主電極分布而設計了兩款用于檢測主電極之間平行度及間距的電