大功率射頻激光電源功率控制技術(shù)研究.pdf

1、射頻電源功率控制是大功率射頻板條CO2 激光器關(guān)鍵技術(shù)之一。本文系統(tǒng)地研究了射頻電源功率控制電路，主要包括PWM 調(diào)制器、調(diào)制信號(hào)放大，以及大功率電子管柵極電流檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)射頻板條CO2 激光器輸出激光功率調(diào)節(jié)和電子管柵極過(guò)流保護(hù)。論文主要內(nèi)容包括：
　　 （1）分析了大功率電子管式射頻電源的工作原理及其對(duì)功率控制電路的要求，設(shè)計(jì)了基于TMS320F2812 處理器的脈寬調(diào)制電路，它能產(chǎn)生維持方式、連續(xù)方式和脈沖方式三種脈寬調(diào)

2、制信號(hào)。
　　 （2）開(kāi)發(fā)了射頻電源調(diào)制器的串口通訊界面。通過(guò)VB6.0 開(kāi)發(fā)平臺(tái)和MSComm 通訊控件編寫(xiě)射頻電源調(diào)制器與PC 機(jī)的串口通訊界面。通訊界面通過(guò)RS-232與調(diào)制器通訊，實(shí)現(xiàn)外控時(shí)對(duì)調(diào)制器輸出的PWM 信號(hào)進(jìn)行控制以及內(nèi)控時(shí)實(shí)時(shí)顯示PWM的參數(shù)。
　　 （3）設(shè)計(jì)了射頻電源脈寬調(diào)制放大電路。根據(jù)電子管柵極驅(qū)動(dòng)能力的要求，課題使用了BIMOSFET 作為電路的放大器件，將射頻電源調(diào)制器輸出的5V的PWM

3、信號(hào)放大成-200V的PWM 信號(hào)來(lái)驅(qū)動(dòng)電子管的柵極。
　　 （4）設(shè)計(jì)了射頻電源柵極電流檢測(cè)電路。利用EPM7064SL44芯片來(lái)完成柵流檢測(cè)電路邏輯功能，實(shí)現(xiàn)對(duì)射頻電源柵極的電流信號(hào)和電路板的掉電信號(hào)的檢測(cè)，當(dāng)柵極電流平均值大于2.5A或者電路板掉電的時(shí)候CPLD 會(huì)產(chǎn)生一個(gè)高電平報(bào)警信號(hào)。使用Quartus2 軟件對(duì)此邏輯電路進(jìn)行了時(shí)序仿真。
　　 本文研制的射頻電源功率控制電路實(shí)現(xiàn)了對(duì)射頻板條CO2 激光器輸出光