基于區(qū)域控制感應(yīng)加熱系統(tǒng)的分析研究.pdf

1、在半導(dǎo)體制造業(yè)中,面對(duì)的是一個(gè)大功率、高溫的工作環(huán)境,這時(shí)高頻感應(yīng)加熱電源便是一個(gè)較好的選擇。然而,一個(gè)常規(guī)的感應(yīng)加熱電源,其只有一個(gè)工作線圈或一組逆變器,由于感應(yīng)加熱線圈具有“端部效應(yīng)”且根據(jù)磁、熱場(chǎng)的特性可知,這往往無(wú)法給被加熱工件提供均勻的溫度,即不能在工件或其基座上產(chǎn)生均勻的或按期望要求分布的熱磁場(chǎng)分布。
　　另外,隨著感應(yīng)加熱電源市場(chǎng)發(fā)展的愈加成熟,各種應(yīng)用場(chǎng)合尤其是精密制造業(yè)對(duì)其亦提出了更高的期望和要求。為了能夠盡量克

2、服“端部效應(yīng)”實(shí)現(xiàn)設(shè)備對(duì)于待加熱工件的等溫加熱,本文引入“區(qū)域控制”這一概念。通過(guò)由多組逆變器連接多組感應(yīng)線圈的方式,以及在“操作輸入解耦(MID)”和“狀態(tài)反饋解耦(SFBD)”的基礎(chǔ)上控制不同逆變系統(tǒng)之間同頻率、電流同相位運(yùn)行,用以實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱工件的小區(qū)域加熱效果。另外,針對(duì)感應(yīng)加熱系統(tǒng)參數(shù)的非恒定性,本文研究了采用全數(shù)字鎖相環(huán)的頻率跟蹤方式的實(shí)現(xiàn)方法,保證感應(yīng)加熱電源的高效運(yùn)行。
　　本文在深入分析感應(yīng)加熱電源主電路結(jié)構(gòu)以及控