光纖法珀壓力傳感器信號(hào)質(zhì)量及穩(wěn)定性研究.pdf

1、光纖法珀壓力傳感器目前在航天航空、石油化工、能源和建筑等軍事和工業(yè)民用領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用前景。結(jié)合光纖技術(shù)和MEMS技術(shù)的光纖法珀壓力傳感器具有體積小、抗電磁干擾能力強(qiáng)、防腐蝕、靈敏度高、適應(yīng)惡劣環(huán)境能力強(qiáng)、一致性好及大批量生產(chǎn)等優(yōu)勢(shì)，可滿足惡劣環(huán)境下對(duì)傳感器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性的要求，受到廣泛關(guān)注和研究。針對(duì)高精度高穩(wěn)定的壓力傳感要求，本文開展了光纖法珀壓力傳感器的信號(hào)質(zhì)量及穩(wěn)定性研究。
　　本文的具體研究?jī)?nèi)容包括:
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2、、研究了光纖法珀壓力傳感頭光束傳輸模型，分析了干涉條紋強(qiáng)度及對(duì)比度與反射率及傳感頭厚度的關(guān)系，實(shí)現(xiàn)傳感器最優(yōu)信號(hào)質(zhì)量;研究了傳感器膜片形變的彈性力學(xué)特性模型，分析了傳感頭尺寸參數(shù)對(duì)硅膜片形變的影響;分析和介紹了光纖法珀壓力傳感器的傳感頭芯片鍵合機(jī)理和鍵合工藝流程。
　　2、研究了光纖法珀壓力傳感器信號(hào)質(zhì)量評(píng)價(jià)指標(biāo)，進(jìn)行了信噪比對(duì)光纖法珀壓力傳感解調(diào)干涉級(jí)次跳變及絕對(duì)相位影響的理論分析，搭建了光纖法珀壓力傳感解調(diào)實(shí)驗(yàn)測(cè)試系統(tǒng)，并進(jìn)行