高精度角位移傳感器及其檢測(cè)儀的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、電容角位移傳感器是一種將機(jī)械角度的變化轉(zhuǎn)換為電容量變化并給出相應(yīng)電信號(hào)輸出的測(cè)量裝置,它具有非接觸、高可靠性、靈敏度高、精度高和低功耗、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適應(yīng)惡劣環(huán)境如震動(dòng)、超高溫等優(yōu)點(diǎn),這使得它成為最具有發(fā)展前途的傳感器之一.但電容角位移傳感器也存在一些缺點(diǎn)和問(wèn)題,如由于電場(chǎng)邊緣效應(yīng)而引入輸出特性的非線性以及寄生電容和分布電容對(duì)靈敏度和測(cè)量精度的影響等,需要采取一定的補(bǔ)償和校正措施.基于電容式角位移傳感器的智能金屬管浮子流量計(jì)需要工作在較寬的

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