液體靜壓導(dǎo)軌設(shè)計優(yōu)化與數(shù)控修形技術(shù).pdf

1、液體靜壓導(dǎo)軌已經(jīng)成為了國內(nèi)外超精密加工技術(shù)領(lǐng)域的研究熱點之一。目前液體靜壓導(dǎo)軌核心零部件的加工方式普遍采用超精密磨削加工和手工研磨加工，其中超精密磨削加工對機床的精度要求高，加工成本高，而手工研磨加工的加工效率低、成品率低、加工周期長，因此兩種加工方式都存在局限性。計算機控制光學(xué)表面成形技術(shù)（CCOS技術(shù)）已經(jīng)成功運用于諸多光學(xué)零件的超精密光學(xué)加工工藝中，該技術(shù)對機床精度要求低、加工周期短、成品率高，把 CCOS技術(shù)應(yīng)用于液體靜壓導(dǎo)軌的

2、設(shè)計、加工為液體靜壓導(dǎo)軌的研發(fā)提供了一種新的思路。本課題針對機床對導(dǎo)軌的需求，結(jié)合 CCOS研磨加工技術(shù)的特點，設(shè)計了具備可研磨加工性的液體靜壓導(dǎo)軌。基于有限元分析軟件對液體靜壓支承油膜進行了仿真研究，將仿真結(jié)果與理論設(shè)計模型進行對比驗證，補充了理論設(shè)計的不足，基于精度分配原則和原理，探索了 CCOS研磨金屬平面的基本研磨工藝和抑制邊緣效應(yīng)的工藝，為液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計、加工和制造提供了一種新的思路。論文的主要研究工作包括以下幾個部分：<

3、br>　　1、研究了液體靜壓導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)和核心參數(shù)設(shè)計。根據(jù)國內(nèi)外三種典型液體靜壓導(dǎo)軌受力模型的對比分析，提出具備可研磨加工性的液體靜壓導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，基于液體靜壓支承理論，進行了液體靜壓導(dǎo)軌核心參數(shù)設(shè)計，為精密液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計提供了一種新思路。
　　2、仿真研究了液體靜壓導(dǎo)軌液壓油膜的物理特性。基于課題所設(shè)計液體靜壓導(dǎo)軌建立液壓油路模型，利用Ansys/Fluen有限元分析軟件研究了簡化條件下液壓油膜流速、壓力分布等特性，利用仿真結(jié)果

4、擬合出了對置油墊的無量綱承載能力、無量綱油膜剛度和無量綱流量系數(shù)曲線，為液體靜壓導(dǎo)軌理論設(shè)計提供數(shù)據(jù)支撐。
　　3、探索了液體靜壓導(dǎo)軌核心零部件CCOS研磨加工工藝?；趯?dǎo)軌零件易加工性和可裝配性，研究分析導(dǎo)軌核心零部件加工精度分配原理，提出導(dǎo)軌核心零部件的總體加工工藝，分析 CCOS邊緣效應(yīng)的成因，探索“大研拋盤”抑制邊緣效應(yīng)加工工藝并進行工藝論證實驗，為液體靜壓導(dǎo)軌高精度制造提供指導(dǎo)意見。
　　4、探索了導(dǎo)軌核心零部件的