無油渦旋真空泵的計(jì)算機(jī)模擬與模態(tài)分析.pdf

1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)、生物制藥技術(shù)和新興材料等行業(yè)不斷發(fā)展，真空獲得設(shè)備的需求不斷增大。無油渦旋真空泵以其極限真空度高，結(jié)構(gòu)簡單，振動小，密封性好等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外企業(yè)。隨著國內(nèi)市場的不斷擴(kuò)大，研發(fā)和生產(chǎn)適合國內(nèi)企業(yè)的無油渦旋真空泵具有重要意義。
　　本文以無油渦旋真空泵為研究對象，依據(jù)傳熱學(xué)理論和對渦旋盤實(shí)測溫度數(shù)據(jù)的分析，探討了穩(wěn)定工況下的動渦盤與定渦盤的溫度分布情況。根據(jù)渦旋機(jī)械理論，對動渦盤與定渦盤工作中的受力情況進(jìn)行分析

2、。利用計(jì)算機(jī)模擬正常工作狀態(tài)下動渦盤和定渦盤受到的溫度載荷和力載荷，得到動渦盤與定渦盤產(chǎn)生的變形分布，對動渦盤、定渦盤和箱體進(jìn)行模態(tài)分析，防止工作頻率和固有頻率重合產(chǎn)生的振動和噪聲。首先，根據(jù)傳熱學(xué)理論，對無油渦旋真空泵正常工作下動渦盤與定渦盤的溫度載荷進(jìn)行模擬，建立穩(wěn)態(tài)溫度場。然后，計(jì)算動渦盤和定渦盤特殊嚙合位置時受到的氣體力和離心力，應(yīng)用間接耦合法在ANSYS Workbench中進(jìn)行熱力耦合分析，得到了動渦盤和定渦盤在工作狀態(tài)下的