飛秒激光全息并行加工中若干關(guān)鍵問題研究.pdf

1、飛秒激光加工技術(shù)是微納加工領(lǐng)域前沿技術(shù)，其具有真三維、高分辨、熱影響小和加工材料廣泛等優(yōu)點。雖然傳統(tǒng)的單點掃描加工工藝的已日趨成熟，但是其加工效率的低下導(dǎo)致了加工一個微結(jié)構(gòu)太過耗時，成為飛秒激光技術(shù)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程的主要障礙，因此，通過并行加工方式提高加工效率具有重要的研究價值和意義。隨著空間光調(diào)制技術(shù)發(fā)展，利用空間光調(diào)制器加載計算全息圖實現(xiàn)并行加工設(shè)計，不僅省去了原有并行加工中衍射光學(xué)元件制備的成本，而且多焦點陣列的靈活可控性滿足了任意結(jié)構(gòu)

2、制備的要求。因此，基于空問光調(diào)制器的飛秒激光全息并行加工方法引起了廣泛關(guān)注，它為提高飛秒激光加工效率提供了一個重要方向，為批量制備三維功能器件創(chuàng)造了一個有效途徑。但是，作為一種新的研究課題，面對的問題還有很多，本論文給予這一事實展開研究工作。
　　 本文課題來源于安徽省高等學(xué)校自然科學(xué)基金重點項目(KJ2011A014)，本文的主要研究內(nèi)容如下:
　　 介紹了飛秒激光全息并行加工的發(fā)展過程及國內(nèi)外主要的研究現(xiàn)狀，在研究的

3、基礎(chǔ)之上，搭建了一套飛秒激光全息并行加工系統(tǒng)，并開發(fā)了一套集成加工點到加工點的掃描加工軟件程序、焦點位置的自動對焦和存儲讀取的控制軟件。
　　 針對飛秒激光全息并行加工中的若干問題展開研究工作。其一，對搭建的光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)設(shè)計進(jìn)行分析，指出現(xiàn)有系統(tǒng)的弊端所在，提出了改進(jìn)設(shè)計方案，并且就現(xiàn)有條件提出合理設(shè)計全息圖方案實現(xiàn)提高一致性研究辦法。其二，零級光抑制問題，分析零級光對成像質(zhì)量產(chǎn)生干擾的原由，論證采用閃耀光柵加發(fā)散播球面岡子相互