基于脈沖激光沉積敏感膜的光纖F-P氫氣傳感器的研究.pdf

1、在能源需求量越來越大，并且環(huán)保意識(shí)不斷增強(qiáng)的現(xiàn)代社會(huì)，氫能作為一種清潔能源，具備極大的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。但氫氣是一種易燃易爆的氣體，一旦泄露，就會(huì)有發(fā)生爆炸的危險(xiǎn)。光纖F-P氫氣傳感器具有本征防爆，抗電磁干擾，體積小等諸多優(yōu)點(diǎn)，較電類傳感系統(tǒng)更加適合用于檢測(cè)氫氣濃度。
　　基于光纖傳感器在檢測(cè)氫氣濃度方面的優(yōu)勢(shì)，本課題研究了一種基于脈沖激光沉積敏感薄膜的光纖F-P氫氣傳感器，主要內(nèi)容如下：
　　1.介紹了四種類型的氫氣傳感器，闡述了

2、各種類型傳感器的特點(diǎn)以及光學(xué)型傳感器用于氫氣檢測(cè)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)；比較了不同的鍍膜技術(shù)，說明了脈沖激光沉積技術(shù)用于光纖傳感器鍍膜的優(yōu)點(diǎn)。
　　2.通過對(duì)膜片式光纖F-P傳感器的結(jié)構(gòu)與基本原理的論述，得到了傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)；設(shè)計(jì)了一種可約束氫氣敏感膜膨脹方向改變F-P傳感器腔長(zhǎng)的光纖傳感結(jié)構(gòu)，闡述了傳感原理。
　　3.研究了一種脈沖激光低溫沉積Pd/Ag合金膜的方法，并對(duì)薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、顯微組織、表面形貌等進(jìn)行了表征分析，初步獲得了