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文檔簡介
1、本文以傅立葉光學空間頻譜分析原理為基礎,根據(jù)衍射理論,闡述了激光衍射測量微細線直徑的方法,確定了有限尺寸的單色平行照明光場內細線衍射光強與細線直徑之間的關系計算公式。搭建了由光學系統(tǒng)、光電轉換設備及信號處理設備組成的夫瑯禾費衍射直徑測量系統(tǒng)。對比分析了理想細線衍射圖樣和實際衍射圖樣之間的差別。分別從圓斑衍射、背景雜散光、CCD器件自身的噪聲、硬件電路固有的高頻噪聲等方面總結了細線衍射圖樣畸變的主要原因。建立了圓斑衍射的干擾模型,仿真結果
2、與實測的衍射圖樣基本吻合。通過對混有噪聲衍射圖樣頻譜的分析,提出了對衍射圖樣進行FIR低通濾波處理的方法,根據(jù)濾波器技術指標,用MATLAB設計了96階FIR濾波器,仿真結果表明濾波效果很理想?;贔PGA設計了衍射圖樣處理的總體方案,通過采用改進的分布式算法實現(xiàn)FIR濾波器,極大的節(jié)省FPGA資源,利用FPGA內部各種邏輯資源設計實現(xiàn)了暗條紋的精確提取。
本文采用QuartusII自帶的嵌入式邏輯分析儀對80μm細金屬絲
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