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文檔簡介
1、近年來,微波等離子體技術在工業(yè)和農業(yè)等領域得到了越來越多的應用,吸引了學者們廣泛的關注。除傳統(tǒng)的材料改性、等離子體炬、醫(yī)療滅菌等應用外,微波等離子體技術還可以用于內燃機點火、生物質熱解、種子催化等新興領域。
本文旨在報道一種新型的微波誘導等離子體射流發(fā)生器,能夠在不同的氣壓下產生強烈而高效的射流放電。通過研究駐波理論與表面等離激元共振機理,設計了一種新型的天線結構。在大氣環(huán)境中,100 W的微波能夠激勵產生半徑為5 mm的空氣
2、等離子體球。在20 W的功率下實現(xiàn)了低氣壓下的輝光放電,產生了長達30 cm長的氬等離子體射流,并探討了輝光放電等離子體對金屬導體、絕緣體的清洗效果。
優(yōu)化中心波導處的天線,采用對稱的折疊銅絲結構,進一步提高了發(fā)生器的電能效率。在50 W的微波功率下,產生了長達2.4 cm的強烈射流,該氬等離子體射流是由兩根相互纏繞的射流組成的。
本文還實現(xiàn)了四管陣列的氬氣放電,當入射功率達到120W時,放電管內能夠生成4根平均長度
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