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文檔簡(jiǎn)介
1、納米技術(shù)對(duì)現(xiàn)代科技的影響越來(lái)越深遠(yuǎn),而原子力顯微鏡在納米技術(shù)領(lǐng)域起著很重要的作用。在微觀領(lǐng)域,壓電驅(qū)動(dòng)器被認(rèn)為是最適合驅(qū)動(dòng)原子力顯微鏡的裝置。
作者在對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)原子力顯微鏡的可行性進(jìn)行了分析和研究的基礎(chǔ)上,建立了系統(tǒng)的模型。首先,本文用一個(gè)集中質(zhì)量模型來(lái)表示原子力顯微鏡的頂端和樣品,并分析了各自的受力情況。用DMT模型來(lái)表示樣品與頂端的相互作用力,用LuGre模型來(lái)表示樣品受到的納米摩擦力。其次,本文研究了壓電驅(qū)動(dòng)器的遲滯
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