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1、該文在綜合國(guó)內(nèi)外公開(kāi)文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上,分析了電子雕刻機(jī)中電-機(jī)械轉(zhuǎn)換器的各種結(jié)構(gòu)形式,探討了動(dòng)鐵、單線圈、永磁激磁式高頻電-機(jī)械轉(zhuǎn)換器的結(jié)構(gòu)方案.并對(duì)其進(jìn)行了理論分析和試驗(yàn),證明了該結(jié)構(gòu)既可以實(shí)現(xiàn)高頻響的要求,同時(shí)系統(tǒng)穩(wěn)定性、線性度良好.對(duì)電-機(jī)械轉(zhuǎn)換器進(jìn)行的理論分析工作主要包括:磁路最佳工作點(diǎn)、工作氣隙中的動(dòng)態(tài)工作點(diǎn)及回復(fù)磁導(dǎo)率的驗(yàn)證;根據(jù)麥克斯韋電磁理論建立磁場(chǎng)的數(shù)學(xué)模型,使用了列主消元法對(duì)磁路模型的磁場(chǎng)進(jìn)行了分析和仿真,得到了在不同電
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