低溫等離子體處理技術(shù)及裝置.pdf

1、低溫等離子體處理技術(shù)在工業(yè)中的應用越來越廣泛,有關(guān)低溫等離子體發(fā)生裝置的研究需要進一步深入。本課題研究低溫等離子體技術(shù)的應用與發(fā)生裝置,設計一種基于交直流疊加供電的低溫等離子體放電裝置,選題具有重要的實際意義。
　　 論文介紹了低溫等離子體處理技術(shù)在工業(yè)各個方面的應用以及低溫等離子體供電電源的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢,對現(xiàn)階段幾種常見的低溫等離子體的放電裝置及低溫等離子體的放電模式進行了分析,確定了電源系統(tǒng)交直流疊加供電的低溫等離子體的放

2、電裝置方案。設計出了低溫等離子體電源的逆變硬件電路,以C8051F系列單片機為核心,實現(xiàn)了低溫等離子體的放電裝置的主體——基于移相控制的單相H橋PWM逆變器。完成了主電路以及交、直流疊加電路的參數(shù)設計,并進行了仿真研究。通過對低溫等離子體放電過程的分析,建立起了低溫等離子體放電發(fā)生器的仿真模型,并對其高壓放電過程進行了仿真。進而完成了對交直流疊加供電的低溫等離子體放電裝置的仿真及部分實驗調(diào)試。仿真與實驗研究的結(jié)果證實了系統(tǒng)方案的可行性。