二元光學(xué)激光直寫設(shè)備傳動系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析.pdf

1、激光直寫是衍射光學(xué)元件的一種先進(jìn)制作技術(shù),激光直寫設(shè)備是采用激光直寫技術(shù)制作衍射光學(xué)元件并開展其研究的物質(zhì)基礎(chǔ).本文基于中科院長春光機(jī)所研制的四軸激光直寫設(shè)備開展了對其Y軸傳動系統(tǒng)的分析研究,可以為相關(guān)高精度傳動系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和檢測提供重要的依據(jù).本文以二元光學(xué)激光直寫設(shè)備Y軸功能要求和設(shè)計(jì)指標(biāo)為基礎(chǔ),提出了該傳動系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案,并與其它高精度傳動方案進(jìn)行了比較.該傳動系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案可以滿足長行程、定位精度為亞微米級精度的傳動指標(biāo)要求

2、.同時,對傳動系統(tǒng)各個傳動環(huán)節(jié)也提出了具體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案,解釋了滾珠絲杠副、空氣靜壓導(dǎo)軌、絲杠導(dǎo)軌連接等多個傳動環(huán)節(jié)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的具體思路.對于開展類似結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)工作,有實(shí)際借鑒意義.對于所提出的傳動系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu),本文也簡單地進(jìn)行了結(jié)構(gòu)性能指標(biāo)分析.對于該傳動系統(tǒng)的最小位移靈敏度、定位精度的影響因素、系統(tǒng)剛度及固有頻率都進(jìn)行了細(xì)致的計(jì)算,肯定了所提出的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案.精度檢測環(huán)節(jié)對于評價設(shè)計(jì)的優(yōu)劣是至關(guān)重要的,本文也對該傳動系統(tǒng)的精度檢測過程