高性能單晶硅爐加熱電源的研究.pdf

1、單晶硅爐加熱電源是一種大功率的整流電源,其輸出的能量直接為單晶硅爐內(nèi)的石墨加熱器供熱,為單晶硅的生產(chǎn)提供熱場(chǎng);而熱場(chǎng)的穩(wěn)定性是影響單晶硅品質(zhì)的一個(gè)關(guān)鍵因素,因此為了提高單晶硅的品質(zhì)就必須提高加熱電源的性能及穩(wěn)定性。
　　 本文首先對(duì)單晶硅爐加熱電源的發(fā)展現(xiàn)狀及前景作了分析,并闡述了全數(shù)字化控制的高頻單晶硅爐加熱電源的基本特征;然后將高頻開關(guān)型單晶硅爐加熱電源與傳統(tǒng)的可控硅電源的性能進(jìn)行對(duì)比,并針對(duì)目前單晶硅行業(yè)普遍采用的可控硅加

2、熱電源所存在的效率低、功率因數(shù)低、輸出電壓紋波大、穩(wěn)定性較差等問題,將FB-ZVS-PWM移相全橋軟開關(guān)變換器技術(shù)引入到單晶硅爐加熱電源的設(shè)計(jì)中,從而提高電源的整體電氣性能,提高電能轉(zhuǎn)換效率和功率因數(shù),降低對(duì)電網(wǎng)的污染。
　　 本文詳細(xì)闡述了FB-ZVS-PWM變換器的工作原理、ZVS條件以及設(shè)計(jì)方法,分析了主電路的設(shè)計(jì)方法以及關(guān)鍵器件的選型,并對(duì)超微晶高頻變壓器以及電源的水循環(huán)冷卻系統(tǒng)等進(jìn)行了創(chuàng)新性設(shè)計(jì),此外還對(duì)FB-ZVS-