電容式微機械陀螺電路設計與測試技術.pdf

1、基于MEMS技術加工的微機械陀螺具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高等優(yōu)點，當前在許多領域具有非常廣闊的應用前景。然而，在國內由于加工工藝以及接口電路等條件的限制，微機械陀螺性能還普遍偏低，正處于研究發(fā)展階段。本文以北京微電子技術研究所自行研發(fā)設計的803陀螺為研究對象，分析其結構及特性，探討了其接口電路的設計，設計驅動及檢測電路并對陀螺裸芯片進行了測試。同時進一步研究了接口電路板小型化，為今后陀螺產品化做好準備。
　　 本文的

2、工作主要包括以下幾個方面：
　　 （1）結合陀螺理論分析了803微機械陀螺的特性，推導得出了陀螺驅動模態(tài)和檢測模態(tài)運動規(guī)律的數學表達式。
　　 （2）著重研究了陀螺驅動電路的分析與設計。設計了采用正弦波加直流分量的開環(huán)驅動電路，在開環(huán)驅動的基礎上，重點探討了采用文氏電橋的閉環(huán)驅動電路設計。使用Multisim軟件對關鍵模塊進行了仿真驗證。
　　 （3）在分析微弱信號檢測原理的基礎上，設計了陀螺角速度檢測電路。重點