電容式微機(jī)械陀螺電路設(shè)計(jì)與測試技術(shù).pdf

1、基于MEMS技術(shù)加工的微機(jī)械陀螺具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，當(dāng)前在許多領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。然而，在國內(nèi)由于加工工藝以及接口電路等條件的限制，微機(jī)械陀螺性能還普遍偏低，正處于研究發(fā)展階段。本文以北京微電子技術(shù)研究所自行研發(fā)設(shè)計(jì)的803陀螺為研究對象，分析其結(jié)構(gòu)及特性，探討了其接口電路的設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)驅(qū)動及檢測電路并對陀螺裸芯片進(jìn)行了測試。同時(shí)進(jìn)一步研究了接口電路板小型化，為今后陀螺產(chǎn)品化做好準(zhǔn)備。
　　 本文的

2、工作主要包括以下幾個(gè)方面：
　　 （1）結(jié)合陀螺理論分析了803微機(jī)械陀螺的特性，推導(dǎo)得出了陀螺驅(qū)動模態(tài)和檢測模態(tài)運(yùn)動規(guī)律的數(shù)學(xué)表達(dá)式。
　　 （2）著重研究了陀螺驅(qū)動電路的分析與設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)了采用正弦波加直流分量的開環(huán)驅(qū)動電路，在開環(huán)驅(qū)動的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)探討了采用文氏電橋的閉環(huán)驅(qū)動電路設(shè)計(jì)。使用Multisim軟件對關(guān)鍵模塊進(jìn)行了仿真驗(yàn)證。
　　 （3）在分析微弱信號檢測原理的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了陀螺角速度檢測電路。重點(diǎn)